压力传感器采用自主研发的技术,使用独特的加工技术在SOI晶圆表面的250nm厚可加工材料层上制作出孤立的“岛”状硅敏感电阻阵列,用绝缘膜电隔离技术替代了传统的PN结电隔离技术,由于SOI芯片避免了PN隔离问题,相比于常规的扩散硅压力传感器,具有更好的稳定性,可以实现更高温度下的压力测量。
这是SOI压力传感器的核心优势所在。
在封装结构方面采用小体积充油式耐高温高压结构,充以特殊的保护液,并进行高宽温区的老化和补偿等,环境适用性强、可靠性高、稳定性好,从而保证了本产品的高性能。
这种结构国内还没有其他单位采用,因此具极高的竞争优势。
本产品国内首创,填补国内空白,不存在同类产品竞争问题。